一、 IBF 700型離子束拋光機(jī)
技術(shù)數(shù)據(jù)：
工作范圍：?70mm–?700mm
?2.75 英寸 –?27.5 英寸
厚度：200 毫米（8 英寸）
重量：最大。 100 公斤（45 磅）
接觸角：最大。 63°
形狀：凹、凸、平面
球面、非球面、自由曲面
負(fù)載鎖定系統(tǒng)：適用于兩個(gè)基板，繼續(xù)工藝
軸數(shù)：
類型：700-3 X,Y,Z
類型：700-5 X,Y,Z,A,B
行程：X > 700mm
Y > 700mm
Z = 400mm
A ± 50°
B ± 50°
方面：
重量：5950 公斤（13091 磅）
尺寸：（wxhxd）4,65m x 5m x 2,75m
（183 x 197 x 108 英寸）
占地面積：6m x 6m
236 x 236 英寸
電源供應(yīng)：
電源要求：伏特。 400V – 3 相 +N+PE
電源要求：頻率 50-60 Hz
每相最大電流：32A
電源要求：最大。 22 千瓦/平均 9 千瓦
運(yùn)轉(zhuǎn)供應(yīng)：
氮：
壓力：1..3 bar g (15..45 psi)
純度：99,99 %
氬氣：
壓力：0.7 .. 1bar g (10.5..15 psi)
純度：分鐘。 99.9990%(5.0)
壓縮的空氣：
壓力：4..10 bar g (60..150 psi)
質(zhì)量等級(jí)符合 ISO 8573-1 2 4 1
冷卻水壓力：5 .. 6 bar g (60 .. 90 psi)
冷卻水溫度：20°C (68°F)
冷卻水溫度穩(wěn)定：+/- 0.5°C
真空泵排氣管 DN 63
咨詢電話：135 2207 9385
二、 IBF-1000R型離子束拋光機(jī)
IBF-1000R 專為納米精確校正矩形光學(xué)表面高達(dá)1000 x 1000 毫米。 該機(jī)配備高速泵送系統(tǒng)以最小化負(fù)載和卸貨時(shí)間。
技術(shù)數(shù)據(jù)
工件數(shù)據(jù)
尺寸：1000 毫米 x 1000 毫米
（39.3 英寸 x 39.3 英寸）
厚度：200 毫米（8 英寸）
重量：最大。 350 公斤（771 磅）
接觸角：最大63°
形狀： 平面、球面、非球面、自由形狀
高速泵送系統(tǒng)
無(wú)負(fù)載鎖定，但有高速泵送系統(tǒng)
軸系
類型：1000R X、Y、Z
行程：X > 1000 毫米
Y > 1000 毫米
Z > 200 毫米
方面
重量：10000 公斤（22046 磅）
寬x高x深：9.2 米 x 2.5 米 x 6.2 米
（362 英寸 x 98 英寸 x 244 英寸）
占地面積：6.5 m x 9 m
（256 x 355 英寸）
三、 IBF-1500型離子束拋光機(jī)
IBF-1500 專為納米級(jí)精確校正大光學(xué)表面，尤其是鏡子。
工件的方向是垂直的。
技術(shù)數(shù)據(jù)
工件數(shù)據(jù)
直徑： ?5 毫米 – ?1500 毫米
（?0.2'' - ?59''）
厚度：520 毫米（20.5 英寸）
重量：最大。 1000 千克（4545 磅）半徑
曲率：≥ 2250 毫米（88.5 英寸）
形狀：平面、球面、非球面、自由形狀
高速泵送系統(tǒng)
無(wú)負(fù)載鎖定，但有高速泵送系統(tǒng)
軸系
類型：1500-3 X、Y、Z、A（手動(dòng)）
行程：X = 1650 毫米
Y = 1800 毫米
Z = 200 毫米
方面
重量：21300 公斤（4700 磅）
寬x高x深：7.40 米 x 7 米 x 3.95 米
（291 英寸 x 276 英寸 x 156 英寸）
占地面積：8 m x 8 m
(315 x 315'')
