無錫市錫山區(qū)半導(dǎo)體先進(jìn)制造創(chuàng)新中心的光學(xué)非球面超精密復(fù)合加工機(jī)床UPN150G5，
是針對光學(xué)器件加工專門研制的超精密加工機(jī)床，整合了磨削、車削以及在機(jī)測量功能，一次裝夾可實(shí)現(xiàn)納米級(jí)光學(xué)磨削、車削及在機(jī)納米測量和反饋補(bǔ)償，
磨削加工口徑最大Φ150mm，車削加工工件表面粗糙度Ra<1nm，面形精度PV值<0.1μm；
磨削加工工件表面粗糙度Ra<5nm，面形精度PV值<0.15μm。
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