鐳測(cè)科技推出的LY1000型非接觸式激光回饋干涉儀，無(wú)需靶鏡，僅利用待測(cè)工件反射甚至是散射的微弱光線即可實(shí)現(xiàn)高精度測(cè)量，是真正意義上的非接觸式測(cè)量。
一、鐳測(cè)科技LY1000非接觸式激光干涉儀應(yīng)用場(chǎng)景
鐳測(cè)科技LY1000非接觸式激光干涉儀除可用于傳統(tǒng)激光干涉儀適用的測(cè)量目標(biāo)外，還可適合于微、小、輕、薄、毒、易變形等不適合安裝靶鏡的目標(biāo)測(cè)量，如液面高度、半導(dǎo)體晶圓位置、微機(jī)械位移、材料膨脹系數(shù)、振動(dòng)等。
二、鐳測(cè)科技LY1000非接觸式激光干涉儀產(chǎn)品特點(diǎn)
1、具有高靈敏度，鐳測(cè)科技LY1000非接觸式激光干涉儀可實(shí)現(xiàn)對(duì)非配合目標(biāo)的非接觸式測(cè)量。
2、鐳測(cè)科技LY1000非接觸式激光干涉儀采用的準(zhǔn)共路技術(shù)有效抑制儀器內(nèi)部環(huán)境變化引起的漂移，儀器具有較小的零漂。
3、鐳測(cè)科技LY1000非接觸式激光干涉儀具有較高的分辨率和較大量程，測(cè)量結(jié)果可以溯源。
三、鐳測(cè)科技LY1000非接觸式激光干涉儀技術(shù)參數(shù)
型號(hào) | 鐳測(cè)科技 LY1000 |
激光頭尺寸 | 300mm×126mm×90mm |
激光頭重量 | 4kg |
激光工作波長(zhǎng) | 1064nm |
激光功率 | 1~5mW |
激光光束直徑 | 3~5mm |
工作溫度范圍 | +10℃~+35℃ |
儲(chǔ)存溫度范圍 | +15℃~+50℃ |
系統(tǒng)組成 | 激光頭、控制箱、環(huán)境補(bǔ)償傳感器、連接電纜 |
激光穩(wěn)頻精度 | 1×10-6 |
線性測(cè)量范圍 | 2m |
線性測(cè)量精度 | 1×10-6 |
分辨率 | 2nm |
被測(cè)物反射率 | 10-7~1 |
最高測(cè)量速度 | 50mm/s |
四、鐳測(cè)科技LY1000非接觸式激光干涉儀基本配置
激光測(cè)頭
信號(hào)處理電箱
軟件
北京鐳測(cè)科技有限公司擁有多項(xiàng)獨(dú)立的知識(shí)產(chǎn)權(quán)，為高新技術(shù)企業(yè)和北京市專精特新中小企業(yè)，生產(chǎn)的高精度測(cè)量?jī)x器有：雙折射雙頻激光干涉儀，非接觸激光回饋干涉儀，光學(xué)元件內(nèi)應(yīng)力（及相位延遲）測(cè)量?jī)x，激光納米測(cè)尺等產(chǎn)品，滿足機(jī)械制造、微電子、光學(xué)加工等行業(yè)的高精度測(cè)量要求。
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